寧夏北瓷新材料收到科學技術部下發的關于高性能氮化鋁靜電吸盤國家重點研發計劃課題任務書

摘要：

12月5日，成都旭光電子股份有限公司的孫公司寧夏北瓷新材料科技有限公司收到中華人民共和國科學技術部下發的國家重點研發計劃課題任務書，任務書基本內容如下：

課題名稱：氮化鋁陶瓷組分設計及大尺寸輔熱型靜電吸盤制造和應用

所屬項目：半導體用高超精密晶舟及靜電吸盤研制與應用

所屬專項：先進結構與復合材料

項目牽頭承擔單位：中材高新氮化物陶瓷有限公司

課題承擔單位: 寧夏北瓷新材料科技有限公司

課題負責人：陳軍平

執行期限：2023 年 11 月至 2026 年 10 月

課題簡介：針對我國半導體行業對高精度靜電吸盤國產化的迫切需求，系統地開展12英寸晶圓用大尺寸輔熱型氮化鋁靜電吸盤結構設計、陶瓷材料熱學和電學性能協同調控、輔熱型靜電吸盤制造技術、靜電吸盤性能測試表征技術等多面的研究，突破靜電吸盤仿真結構設計、熱導率和電阻率可調的組分設計、電介質層和加熱層共燒致密化，溫度和吸附力均勻性測試等多項關鍵技術，實現高溫度均勻性和高吸附均勻性氮化鋁靜電吸盤樣件的制備，并且完成在半導體制程模擬裝置中的示范應用，建立中試生產線，為國產化高性能氮化鋁靜電吸盤的產業化應用和發展奠定基礎。

靜電吸盤介紹

靜電吸盤是一種適用于真空環境或等離子體環境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理將晶圓片加以固定并進行控溫，廣泛應用于PVD、PECVD、刻蝕、離子注入等高端半導體制造設備中。靜電吸盤主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料，隨著新一代半導體技術的發展，低溫刻蝕與沉積等工藝通常需要晶圓達到更低的溫度，因此對靜電卡盤的散熱性能就提出了更高的要求。而Al2O3材料熱導率及相關機械性能均不及AlN陶瓷，因此AlN陶瓷替代Al2O3陶瓷作為靜電吸盤的制造材料成為趨勢。全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性，主要被日美廠商主導。目前我國靜電吸盤的自主水平及國產化率，與其它半導體零部件、關鍵原材料的處境一致，極易被“卡脖子”。

寧夏北瓷具備全產業鏈商用氮化鋁粉體—基板—結構件—HTCC與高端功能器件產品量產的能力，其生產出的許多不再依賴進口的產品，比如氮化鋁粉體、高端封裝基板、超高熱導率陶瓷基板、高精密氮化鋁功能器件、芯片封裝管殼等。有多項產品被成功用在了芯片加工的CVD與ETCH等設備，為我國的芯片制造產業中的關鍵材料自主化作出了貢獻。

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1.旭光孫公司收到國家重點研發計劃課題任務書