半導體材料目前已經發展至第三代。傳統硅基半導體由于自身物理性能不足以及受限于摩爾定律,逐漸不適應于半導體行業的發展需求,砷化鎵、碳化硅、氮化鎵等化合物半導體也因而誕生。
從技術來看,半導體材料目前已發展了三代:
1) 第一代半導體材料以傳統的硅(Si)和鍺(Ge)為代表,是集成電路制造的基 礎,廣泛應用于低壓、低頻、低功率的晶體管和探測器中,90%以上的半導體產品 是用硅基材料制作的;
2) 第二代半導體材料以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)和磷化鎵(GaP)為代表, 相對硅基器件具有高頻、高速的光電性能,廣泛應用于光電子和微電子領域;
3) 第三代半導體材料以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石(C)、氮化鋁(AlN)等新興材料為代表。
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