滬硅精密陶瓷科技（蘇州）有限公司

概要：由中科院硅酸鹽所、微系統所及滬硅管理運營團隊組成，滬硅管理運營團隊是以上海交大背景，有世界五百強及美國半導體裝備研發機及械制造經驗的精英團隊。滬硅科技與中微及國內光刻機主流廠商保持緊密合作，致力于填補國內耐等離子體侵蝕陶瓷方面產業空白。

企業信息：

企業名稱：滬硅精密陶瓷科技（蘇州）有限公司

統一社會信用代碼：91320585MAC4K13N1T

網址：http://www.holdgreat.cn/

注冊資本：1,000萬(元)

成立日期：2022-12-06

所屬省市：江蘇省蘇州市

主營：半導體行業用高純氧化鋁陶瓷和氧化釔粉體等產品。

產品關鍵詞：超高純度氧化鋁，高純氧化鋁陶瓷，抗等離子體侵蝕，噴涂用氧化釔粉末

產品成分關鍵詞：氧化鋁、氧化釔

 

注：以下內容信息來源：http://www.holdgreat.cn/

公司介紹：

滬硅精密陶瓷科技團隊由中科院硅酸鹽所、微系統所及滬硅管理運營團隊組成，滬硅管理運營團隊是以上海交大背景，有世界五百強及美國半導體裝備研發機及械制造經驗的精英團隊。滬硅精密陶瓷科技團隊掌握特種陶瓷粉體配方、制備工藝、核心裝備制造、精密機械加工等跨專業的核心技術能力。滬硅科技致力于面向半導體裝備，尤其是涉及特殊工作條件的核心裝備（如刻蝕機、CVD薄膜沉積）的精密陶瓷零部件的研究和生產，金屬材料機械加工，以及面向裝備企業的定制化服務，為客戶提供全面的解決方案。滬硅科技與中微及國內光刻機主流廠商保持緊密合作，致力于填補國內耐等離子體侵蝕陶瓷方面產業空白 ，提高半導體裝備國內大循環的自主可性 ，為客戶提供高品質、高效率、高附加值的產品和服務。

99.99% 超高純度氧化鋁陶瓷，由于半導體產業的持續高度化，全世界對在極限(高功率/高溫)環境中可長期使用的半導體設備及零部件用陶瓷原材料需求暴增。99.99%超高純度Al2O3 陶瓷耐等離子性超強且超級耐用而可應對高功率工程，因而用來制作半 導體設備零部件，廣泛應用于電子產業各領域，例如ESC用母材、微波傳導部件、腔室件、以及絕緣件。

高純氧化鋁陶瓷?99.6% 以上高純度氧化鋁陶瓷相比其他金屬及塑料等原材料對化學侵襲具有高抵抗性，同時還具有結構致密且硬度高而極為耐磨的特性。高純度氧化鋁陶瓷具有良好的剛性和耐磨性，可用于晶圓拋光；即使長期使用，仍可保持良好的表面形態。高純度 Al2O3 陶瓷還具有高溫下電絕緣性以及可耐1,600~1,700°C高溫的耐熱性。正因上述特性，作為在高溫真空等離子環境運行的蝕刻機工程等所使用消耗性零部件核心原材料廣泛使用。

抗等離子體侵蝕陶瓷?能夠在高溫、高壓等極端環境下抵抗等離子體侵蝕的陶瓷材料。它主要由氧化鋯、氧化釔和其他添加劑組成，具有高溫穩定性、高強度、低熱膨脹系數等特點，因此在航空航天、核能等領域得到廣泛應用。與常規的氧化鋁陶瓷相比，稀土氧化物Y2O3具有更為優異的抗等離子體侵蝕性能，是理想的刻蝕腔體材料。YAG陶瓷是Y2O3-Al2O3復合氧化物陶瓷的簡稱，兼顧Al2O3 陶瓷良好的力學和熱學性能以及Y2O3陶瓷卓越的抗等離子體侵蝕性能，能夠為客戶個性化定制。

噴涂用氧化釔末粉?氧化釔粉末作為一種高性能的噴涂材料，在各個行業中廣泛應用。滬硅精密陶瓷科技致力于為客戶提供優質的氧化釔粉末材料和專業的技術支持。氧化釔粉末具有以下卓越特性：- 高溫穩定性: 氧化釔粉末能夠在高溫環境下保持穩定性，不易熔化或氧化，適用于高溫噴涂應用。- 耐腐蝕性: 氧化釔粉末對酸堿等腐蝕性介質具有優異的抗腐蝕性能，可在惡劣環境中長期使用。- 優異的絕緣性: 氧化釔粉末具有良好的絕緣性能，可用于電子元件的保護涂層。- 高硬度和耐磨性: 氧化釔粉末具有出色的硬度和耐磨性，可增強噴涂材料的耐磨性能。

產品圖譜：

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